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每日观察!大族激光：公司接近式光刻机已投入市场，步进式光刻机已启动用户优化

2023-02-27

36氪获悉，大族激光近期接受调研时称，目前，公司光刻机项目主要应用在分立器件领域，分辨率3-5μm；其中，接近式光刻机已投入市场，步进式光[详细]

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